鲁东大学学报(自然科学版)

<正>一、集成电路的发展及现状集成电路(integrated circuit,IC),也称微电路(microcircuit),是20世纪50年代末至60年代初发展起来的一种新型半导体器件。1958年杰克·基尔比率先发明基于锗的集成电路,1960年罗伯特·诺伊斯发明了基于硅的集成电路,他们的开创性工作共同奠定了现代电子技术的基础,推动了电子器件向微型化、低功耗、高集成度、高可靠性和智能化发展的革命性跨越。当前,全球集成电路制造工艺已进入3 nm主流应用、2 nm启动量产的技术迭代阶段。中国集成电路产业在成熟制程领域持续突破——28 nm及以上工艺实现稳定量产、14nm工艺正逐步攻克技术壁垒,同步构建起涵盖芯片设计、晶圆制造、封装测试的完整产业链体系,产业创新已延伸至人工智能、自动驾驶、量子计算等前沿科技领域。